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碳化硅SiC工藝流程:PN(離子注入/碳電池濺射)——柵(蝕刻/灰化)——電極(蒸發/濺射/蝕刻/灰化)
硅Si工藝流程:正面PN(離子注入)——柵發射極(濺射/蒸發)——背面PN(離子注入)——采集器(濺射/蒸發)

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